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富加镓业成功生长超70mm氧化镓晶锭

2026-08-23

据富加镓业消息,近日,富加镓业采用自主垂直布里奇曼法(VB法)成功生长出厚度超70mm的6英寸氧化镓单晶晶锭。经平湖实验室HRXRD检测,该晶锭的结晶质量优异。

同时,经过中国计量科学研究院的检测,其电学性能可以满足碳化硅行业对衬底的要求。晶锭的厚度是衡量单晶生长技术成熟度与产业化程度的关键指标,晶锭厚度的增加意味着单根晶体可以切割出更多的衬底片,直接降低单片成本。

氧化镓晶锭生长情况 生长高度 (mm) 0 20 40 60 80 时间 (天) 1 2 3 4 5 60 40 30 20 10
图1 数据来源:公开信息

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